製品概要
HAMAMATSU-IF Suite は、浜松ホトニクス株式会社(以下、浜松ホトニクス社)の半導体故障解析装置(以下、装置)と LAVIS-plus とを連携する CAD ナビゲーション機能(HAMAMATSU-IF)、スタティック故障解析向け機能(EASY-S)、ダイナミック故障解析向け機能(EASY-D)で構成されています。
※ご利用いただくには、LAVIS-plus と入力ファイルのライセンスに加え、HAMAMATSU-IF、EASY-S、
EASY-D それぞれのライセンスが必要です。
HAMAMATSU-IF
装置から観察像を取得し、レイウアトデータに重ね合わせて表示する CAD ナビゲーション機能です。ロジックデバイスやメモリデバイス、パワーデバイス、フラットパネルデバイスなど、対象製品を問わず対応しています。
- オンライン、オフラインいずれの環境でも利用可能
※オフラインで利用する場合は、装置からあらかじめ観察画像を TIFF 形式で保存しておきます。
EASY-S
HAMAMATSU-IF の機能に加え、以下の機能を搭載したスタティック故障解析向け機能です。
PEM 解析や OBIRCH 解析時に利用することで、検出信号に関係するネットやセルを効率的に絞りこむことができます。特に、ロジックデバイスにおいて有用な機能です。
- 検出信号(発光・OBIRCH 反応)領域に関係するネットやセルの自動抽出
- ネットやセルが通過する領域の頻度分布表示
- ネットに近接する図形の抽出
EASY-D
HAMAMATSU-IF の機能に加え、以下の機能を搭載したダイナミック故障解析向け機能です。
- レイアウトデータから求めた論理情報を基に、Sequential EOP 計測点を抽出
Sequential EOP 計測点はビュー上から手動で指定することも可能 - 良・不良チップ間の EOP 波形の一致度を基に、波形異常が生じた経路を絞り込み
動作環境
装置制御ソフトウェアのバージョンや、オンライン/オフラインでのご利用により、お使いいただける機能が異なります。動作環境や機能、対応装置などの詳細につきましては、こちらより営業部までお気軽にお問い合わせください。