WaferAnalysis

製品概要

WaferAnalysis は、ウェハデータをマップに表示する LAVIS-plus のプラグイン機能です。テスト(Bin)や欠陥検査、故障診断の結果をマップ表示することができます。
※ご利用いただくには、LAVIS-plus のライセンスに加え、WaferAnalysis のライセンスが必要です
(一部の機能は有償です)。

  • KLARF をチェックリストに変換し、チップレイアウトに表示することもできます。
  • 等電位追跡機能を併用し、配線との位置関係から欠陥を分類するなどの応用も可能です。

動作環境&対応フォーマット

  • LAVIS-plus バージョン11.0 以降に対応しています。
  • ウェハレイアウト(ウェハ形状)ファイルとしてオープンできるファイルは Bin、または KLARF(KLA Results File)形式です。また、Bin は SEMI E142-0211、SEMI G85-0703、および SEMI G81-0307、KLARF はリビジョン 1.2 に対応しています。
    上記以外にもウェハレイアウトファイルの記述には制限がございます。詳細につきましてはこちらより営業部までお問い合わせください。

今後の予定

Bin や欠陥検査、故障診断の結果だけでなく、欠陥照合の結果もマップ表示できるようになります。

お問い合わせ

機能などの詳細につきましては、こちらより営業部までお気軽にお問い合わせください。