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MS-lite

MaskStudioの技術を活用した中小規模データ向けフラクチャリングシステムです。

MS-liteは、中小規模のGDSやEBデータをEBデータへ高速に変換するユーティリティーソフトです。

リーズナブルな価格

GDSやEBデータからEBデータへの変換に特化し、搭載機能を限定しているため、お客様の運用コストを最小限に抑えることが可能です。

簡単＆スピーディー

複雑なルールファイルの作成を必要とせず、ウィザード形式GUIやコマンドラインから手軽に実行できます。

対応フォーマット

以下の入出力フォーマットに対応しています。
  • （入力）
    • GDSIIVersion 5/ 6/ 7
    JEOL52V1.0/ V1.1/ V2.1/ V3.0/ V3.1
    MEBES（*）RETICLE/ MODE5
    HitachiHL700/ HL800/ HL900/ HL950/ HL7000
    Toshiba/NuFlare Tech.     VSB11/ VSB12
    • （出力）
      • JEOL52V1.0/ V2.1/ V3.0/ V3.1 
      MEBESRETICLE/ MODE5                                   
      Toshiba/NuFlare Tech.      VSB11/ VSB12
          *MEBESファイルをMEBES以外のフォーマットに変換することはできません。

      対応プラットフォーム

      以下のプラットフォームに対応しています。

      RedHat Enterprise Linux WS/ES/AS 3, 4, 5 (i386, x86_64)